NOVUS RFイオン ソース コントローラ

業界有数のVeeco RFグリッド イオン ソース用電力供給システム

VeecoのNOVUS RFイオン ソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、あらゆる種類のプロセスで信頼性が高く安定した電力をイオン ソース動作用に提供します。電源モジュール、RFN操作の改善、比率調整可能な統合ガス流量制御により、要求の厳しいプロセス環境においても最適なイオン ソース制御および性能が可能です。

• 高度なビーム制御アルゴリズムによる比類のないプロセス安定性
• さまざまな周波数技術によるニュートライザの簡単操作
• 高度な故障処理回路による優れた耐久性
• カスタマイズ可能な制御設定による適応ソース動作