耐腐食性バルブ付きクラッカーの優れたフラックス制御により、従来の熱制御ソースでは不可能な複雑な構造を実現できます。さまざまな構成の混合グループV層は、標準ソースの使用時に必要な高頻度の再校正手順なしに成長できます。継続してグレードを付けるGaAs1-xSbx層のSIMS分析では、異なる2つの成長率で同一の結果が示され、2つのグループVバルブ付きクラッカーを使用すると、優れたフラックス制御を使用できることが分かります。

• 特許を有するオールPBNるつぼとバルブメカニズムは175 台以上の出荷実績があります。
• アンチモン向けでは、唯一実証されたバルブ付きソース
• 優れたフラックス均一性とマテリアルの付着率を上げるノズルを採用
• 再現性の高い機械式フラックス制御
• 大きなマテリアル容量
• クラッキングまたはノンクラッキングで動作可能
• Sb、Te、Cd、CdTe、ZnおよびMgを使用可能

Veecoの特許取得済み耐腐食シリーズ バルブ付きクラッカーは、今日市販されている中で唯一実績を持つ全PBNバルブ付きソースです。この革新的な技術により、金属のるつぼおよび従来のバルブ付きソースのバルブとは互換性がない、反応性高蒸気圧原料（アンチモンやテルリウムなど）に対してバルブ付きフラックス制御を提供します。このソース設計では、全バルブ アセンブリー、腐食を防ぐために熱分解窒化ホウ素（PBN）のみで造られたるつぼおよびコンダクタンス チューブを使用しています。

バルブ アセンブリーは取り外し可能で、コンダクタンス チューブを使用した大容量のるつぼへの簡単な充填を可能にします。るつぼはビーム フラックスを生成するために加熱されます。ガス流量をPBNバルブで調節することで、迅速なフラックスの安定性、すばやいシャットオフ、および優れた再現性を提供します。分解ゾーンでは、分子フラックスは、熱によってより小さな分子または原子に分解されます。ソースは、必要に応じて非分解モードでも稼働できます。

マークVバルブ付きクラッカーは最近改善され、優れたフラックス均一性および原料の浪費削減をもたらすノズルが付けられました。原料の使用方法を改善したことにより、以下のことが実現しました。

• 原料費の節約
• より長いキャンペーン時間
• システムのクリーニング時間の短縮
• 危険廃棄物生成の低減
• メモリー効果の低減
• 粒子レベルおよび剥離の低下
• システムのウィンドウ コーティングの削減