Veecoの中間温度環境用の延長寿命抗アンモニア分子線エピタキシー装置（MBE）ソースを使用して、アンモニア（NH3）ベース エピタキシーの生産性と性能を最大化することができます。キャンペーン時間を増加、修復コストを最小化、そして、非常に高い成長率を達成することができます。これらのソースは、最高1350°Cの温度および最大1x10-4 Torrのアンモニア分圧で性能を最大に発揮することができます。基板ヒーターおよびSUMOるつぼにより、さらに性能を拡張することができます。

• アンモニア環境下での寿命の延長
• SUMOるつぼは、最適な光束分布および減少による影響の最小化に使用可能
• 最大1x10-4 Torrのアンモニア分圧
• 最高温度1200°C
• 20台以上の出荷実績

窒素ソースとしてアンモニア（NH3）を使用することは、高い成長率とその制御しやすさのため、ますます一般的になっています。その結果、アンモニアによって装置の寿命が著しく短くなります。水素脆化のため、ソースおよびヒーターのフィラメントがほんの数か月しかもたないこともまれではありません。そのため、装置の稼働可能時間が短くなり、キャンペーン時間の短縮と修復コストの上昇につながります。

特殊な耐アンモニア性原料を使用することにより、Veecoは革新的かつ実績のあるソースおよび基板ヒーターを高アンモニア分圧下で稼働可能にしました。Veecoの耐アンモニア性ソースおよびヒーターは、現在、最高1200°Cの温度と最大1x10-4 Torrのアンモニア分圧で性能を最大に発揮することができます。