1945年
Veeco（Vacuum Electronic Equipment Co.）は、リーク ディテクター装置に特化して設立されました。
1989年
Veecoの当時のCOOであるEdward H. Braunは、上級役員のグループとともに、半導体およびデータストレージ業界向けの新しい装置会社を創立するためにMBOを先導しました。BraunはCEOに任命されました。
1994年
VeecoはNASDAQ株式市場での新規株式公開を完了しました。当時、Veecoの売上は、約30百万ドルでした。
1999年
VeecoはIon Tech, Inc.を買収し、光学コーテイング市場に参入しました。
2001年
Veecoは、ミネソタ州セントポールの現在の分子線エピタキシー グループであるApplied EPIを買収しました。
2003年
Veecoはニュージャージー州サマーセットにあるEmcoreを買収し、LED市場向けの有機金属化学蒸着システム事業をリードしています。
2007年 – 2010年
Veecoは、業界に変革をもたらす複数の有機金属化学的気相成長装置（MOCVD）と分子線エピタキシー装置（MBE）化合物半導体システムを発売し、2010年には、計測機器事業を売却して、プロセス機器のみに注力しました。
2011年
Veecoは、今ではLED製造に不可欠なMOCVDシステムのトップ企業です。TurboDisc MaxBright™ Multi-Reactor MOCVDシステムを発売し、一般照明の一段上のレベルの大量生産を可能にしました。
2012年
Veecoは、高スループットの光学コーティング用途向けにSPECTOR-HTイオン ビーム スパッタリング システムを導入しました。
2013年
Veecoは、業界初の完全統合システムであるGENxplor R＆D MBEシステムを発売しました。
2014年
Veecoは、ソリッドステート照明の採用を加速し、研究開発から高効率のGaNパワー エレクトロニクス デバイスの量産への移行を可能にする有機金属化学的気相成長装置（MOCVD）システムを発売しました。Veecoは、湿式技術に関する高成長市場における実績を強化するために、Solid State Equipment LLC（SSEC）を買収しました。
2015年
Veecoは1年以内に50台目となるEPIK 700 MOCVDリアクターを出荷し、アジアの有力なファウンダリからWaferStorm™湿気処理システムの受注を多数獲得しました。
2016年
Veecoは、赤色、橙色、黄色（R/O/Y）LED生産のほか、マルチジャンクションIII-V族の太陽電池、レーザー ダイオードおよびトランジスタ生産用のTurboDisc K475i As/P MOCVDシステムを発売しました。Veecoは、製造事業部をニュージャージー州サマセットの1つの施設に統合し、業務効率を向上させ、顧客のニーズを満たしました。
2017年
Veecoは、高度なパッケージング アプリケーションおよびLED用のリソグラフィ製品のリーダーとして知られるUltratech、Incを買収し、半導体デバイスの製造に使用されるレーザー スパイク アニール技術のパイオニアです。
2018年
Bill Miller博士、CEOに任命Miller博士は、以前は社長を務め、これまでにVeecoの世界中の事業単位および業務チーム内でいくつもの成長イニシアチブを導いてきました。
2020年
収益力の強化、研究開発の最適化、コア技術の半導体および化合物半導体市場への拡張を目指す、 2段階から成る変革を開始しました。
2021年
カリフォルニア州サンノゼ市の新施設から、初のLSA101レーザースパイク アニーリングシステムを大手半導体メーカーに出荷しました。この施設は、半導体アプリケーション向けのレーザー アニーリングおよび高度なパッケージング リソグラフィ システムの開発と生産における当社のセンター オブ エクセレンスとなっています。
2023年
Veeco 社、高成長する炭化ケイ素エピタキシー装置市場への参入を加速するために Epiluvac ABを買収
