16cm高出力RFイオン ソース

イオン アシスト電子ビーム蒸着（IAD）やスパッタ蒸着の性能リーダー

Veeco は 120cm にわたってビーム均一性が10% 未満の 16cm RF ハイ パワー（HP）イオンソースを発表しました。これはイオン アシスト E ビーム（ＩＡＤ）あるいはスパッタ蒸着プロセスなどの反応プロセスでの使用に最適です。

• 幅広い高出力動作をサポート：200 から 1500eV および 200 から >1000mA
• 不活性、酸化環境の両方で信頼できる、統一動作
• 出力改善および電流均一化によって、パッキング濃度が改善され、酸化率が増加
• 化学量制御を改善し、高品質成膜に貢献
• 多様なグリッド セット。多数のインターフェース パッケージによる、既存のイオンアシスト蒸着（IAD）システム用の簡単なアップグレード パスを用意
• スパッタ蒸着については、蒸着率が大幅に向上
• 優れた高薄膜品質および安定したプロセス動作