Veecoは、高度に制御される光学コーティングのイオン ビーム アシストまたはイオン ビーム蒸着などの反応処理用に、広範で均一なイオン ビーム ソースを提供しています。

• 幅広い動作範囲50 から 1500eV および 75 から 700mA
• 不活性、酸化環境の両方で信頼できる、統一動作
• 水冷式で、低から高出力動作用
• 4グリッド設計（オプション）で、非常に高いコリメーションを実現
• 低メンテナンスで、長期量産が可能な業界唯一のフィラメントのないRFニュートラライザが特徴
• 安定した効率の良いプラズマ動作によって、正確な制御と高再現性が可能
• バッチおよびロードロック生産プロセスに最適