6 cm x 22 cm RF イオン ソース
中規模および大規模前洗浄、エッチング、蒸着用途向けリニアRFイオン ソース
Veecoの6 x 22cmグリッド入りリニアRFイオン ソースは、基板パレット、大型基板または小型基板の大型アレイの高生産性インライン システム向けに設計されています。高稼働率、省メンテナンス設計、100%アルゴン、酸素、その他の反応ガスを使用するプロセスに最適。
- プリ洗浄、エッチングおよびイオンビームアシスト蒸着 (IBAD) への応用に対応した適切な電流密度および均一性を実現
- 低メンテナンス、長期連続生産に最適
- 不活性、酸化環境の両方で信頼できる、統一動作
- 低から中出力の動作
- 安定した効率の良いプラズマ動作によって、正確な制御と高再現性が可能