6cm x 30cm 直流（DC）イオンソース
大型基板または大型基板のバッチ用リニア ソース
大型独立基板または大型基板のバッチを使用して実績のあるVeecoのリニア グリッドDCイオン ソースは、高い均一性と高信頼性を備えたイオンビーム蒸着（IBD）プロセス プラットフォームに最適です。直線状または円筒形基板ホルダーに対する優れたリソースです。
- Veeco 社の世界有数の円形状イオンビーム ソースと同じ革新的な設計、品質、および信頼性が特徴
- 均一なプラズマと高電流密度を実現
- ソースあたりの公称最大ビーム電流 500 mA まで 50 ～ 2000 eV の広範囲なビーム エネルギーに対応
- 電源オプションにより、800 mA までのビーム電流が可能