Veecoのammonia-resisantソース（耐アンモニア腐食）を使用することにより、使用可能時間の増加および修理コストの削減、ソース寿命の延長を実現します。最大1x10-4 Torrのアンモニア分圧、最高120°Cの温度で使用可能です。また、基板ヒーターは最大1x10-4 Torrの酸素分圧、最高1200°Cの温度で使用可能です。

• アンモニア環境下での寿命の延長
• SUMOるつぼは、最適な光束分布および減少による影響の最小化に使用可能
• 最大1x10-4 Torrのアンモニア分圧
• 最高温度1200°C
• 20台以上の出荷実績

窒素ソースとしてアンモニア（NH3）を使用することは、高い成長率とその制御しやすさのため、ますます一般的になっています。その結果、アンモニアによって装置の寿命が著しく短くなります。水素脆化のため、ソースおよびヒーターのフィラメントがほんの数か月しかもたないこともまれではありません。そのため、装置の稼働可能時間が短くなり、キャンペーン時間の短縮と修復コストの上昇につながります。