Apexガス混合システム

精密使用時ガス混合の完全なソリューション

Veecoの生産実績のあるPiezocon®ガス濃度センサーにより強化されたApexガス配給システムを使用すると、メーカーは、低コストの高濃度ガスを購入して使用時に希釈することによりガス購入コストを60パーセントも低減できます。Piezoconを使用して混合物をリアルタイムで測定して制御すると、メーカーは、廃棄物と絶え間ない洗浄が必要になる定量混合に関連する問題を解決し、コスト削減を推進できます。安定した出力とガス濃度の正確な制御により、Apexではプロセス ツールの稼働時間が増えます。ガス シリンダーを交換するたびに再確認検査を行う必要がなくなり、場合によっては、定期的なシリンダー交換によるシステムの停止時間を完全に排除できます。Apexはリアルタイム制御、高い精度と再現性、半導体メーカーの所有コスト削減を実現します。

• 低濃度、高精度、低価格のガス混合物を必要とする用途に最適
• 各ガス シリンダーと比較した場合に、再現性を10倍以上に改善
• 一過的逸脱と再適格性確認を排除し、試験時間を短縮することで、システム稼動時間を増大
• ガス購入コストを直ちに60パーセントも削減
• ソーラーや半導体などの広範な応用範囲用の既存の設置ベースとシームレスに統合
• ppmレベルを制御するためにVeecoのPiezoconガス濃度センサーを使用する唯一のガス混合システム

リアルタイム制御、高い精度と再現性、所有コスト削減を実現するには、VeecoのApexガス混合システムをご利用ください。