このソースは、るつぼの本体部分と先端部分を別々に加熱するための2つの独立したフィラメントを有しており、これによって高い温度制御性を実現しています。先端のフィラメントは、るつぼの縁における凝結を防ぐため、ホットリップ モードで使用されます。さらに、熱遮断囲いにより、100～750°Cの範囲で最適なソースの応答性および安定性を実現します。

• 50 台以上の出荷実績のある特許を有する設計
• 低い動作温度で最適化された応答性
• デュアルフィラメントによるホットリップ加熱で、るつぼ開口部のマテリアル凝縮を防止
• 高蒸気圧マテリアルにおける、長期間のフラックス安定性を実現

VeccoのMBE用低温デュアル フィラメント ソースは、2つの独立したヒーターを使用して、るつぼの長さ方向の温度変化を制御します。主なヒーター フィラメントで、るつぼの大部分を加熱します。先端のフィラメントは、この部分の放射熱損失を補うために、るつぼの開口部のみを加熱します。ソースは、ソースの溜まりこみおよびビーム遮蔽につながる、るつぼの開口部における原料の再凝結を防ぐために、ホットリップ モードで稼働します。

低温デュアル フィラメント ソースは熱遮断囲いにより、100～750°Cの範囲で最適なソースの応答性および安定性を実現します。高蒸気圧原料では、わずかな温度の変化もフラックスに著しい変化をもたらすため、温度の安定性が非常に重要です。

低温デュアル フィラメント ソースは、高性能SUMO設計でも使用可能です。詳細については、「低温SUMOソース」データ シートをご覧ください。

性能と利点

低温デュアル フィラメント ソースは、高蒸気圧原料の蒸着の必要性に合わせて設計されています。

利点は以下の通りです。

• 低動作温度で最適パフォーマンス
• 迅速なフラックス安定化
• 優れた長期間のフラックス安定性

デュアル フィラメントによるホットリップ加熱で、るつぼ開口部の凝結を防ぎます。これは、アンチモン、テルリウム、び鉛化合物などの多数の「難しい」原料で効果的であることが証明されています。