Fiji - R＆D向けプラズマ強化原子層蒸着（ALD）
高度な研究のための高度な機能
当社のFiji® シリーズは、フレキシブルなアーキテクチャと様々な形態のプリカーサーやプラズマ ガスを使用した、さまざまな蒸着モードに対応するモジュール式の高真空熱ALDシステムです。Fiji G2は、熱およびプラズマ強化蒸着を実行できる次世代のALDシステム です。
高度な計算流体力学解析を適用して、Fiji® リアクター、ヒーター、トラップの形状を最適化しました。システムの直感的なインターフェースにより、必要に応じてレシピやプロセスを簡単に監視および変更できます。
Fijiの高度な機能・特長は次のとおりです。
- 独自のチャンバー ターボ ポンプ システム
- 改良されたプラズマ設計
- 人間工学に基づいたオペレーター インターフェース
- In-Situ楕円偏光法
- In-Situクオーツ クリスタル マイクロバランス
- 統合オゾン
- グローブ ボックス インターフェース
Fiji® は、固体、液体、または気体のプリカーサーに対応できる最大6つのプリカーサー ラインと6つのプラズマ ガス ラインで利用でき、コンパクトで利用可能な面積に設置できるため、実験の柔軟性が大幅に高まります。
最新のホワイト ペーパーをダウンロード：テクニオン - イスラエル工科大学の研究者、VeecoのFiji®プラズマ原子層蒸着（ALD）システムを使用したALD窒化物フィルムにおける記録史上ほぼ最低の酸素取り込み量とバルク品質抵抗率について発表
技術仕様
| 動作モード | Continuous Mode™（従来のサーマルALD） Exposure Mode™（高アスペクト比ALD） Plasma Mode™（プラズマ強化ALD） |
| 基板サイズ | 最大200mm |
| 基板温度 | 500°C 200mm基板ヒーター標準 800°C 100mm基板ヒーター オプション |
| 蒸着均一性 | 200mm基板で1σで厚さ均一 サーマル Al2O3 – <1.5% プラズマ Al2O3 – <1.5% |
| プリカーサー | 4つのプリカーサー ライン標準、6つのオプション 個別に200°Cに加熱可能な気体、液体、または固体のプリカーサー 業界標準の高速ALDバルブ（10ms最小パルス時間） 広く利用できる50cc（25mL充填最大）ステンレス鋼プリカーサー シリンダー |
| ガス | 100 sccm Arプリカーサー キャリア ガスMFC 500 sccm Arプラズマ ガスMFC 100 sccm N2プラズマガスMFC 100 sccm O2プラズマガスMFC 100 sccm H2プラズマガスMFC |
| トラップ | 統合および加熱された薄いフォイルのALDトラップ |
| 互換性 | クリーンルーム クラス100に対応 |
| コンプライアンス | CE、TUV、FCC
SEMI S2/S8（オプション） |
| 寸法 | Fijiシステム（ベース）： 1600 x 715 x 1920mm ロードロック付きFiji： 1845 x 715 x 1920mm |
| 電力 | 220～240VAC、リアクターあたり4200W（ポンプを除く） |
| 制御 | Microsoft Windows™ 10（以上）ラップトップPC、LabViewベースのシステム制御 |
| 真空ポンプ | > 50CFMドライ ポンプが必要 入手可能または顧客支給 |
| システム オプション | 分光エリプソメータ ポート クオーツ クリスタル マイクロバランス 残留ガス分析器ポート 発光分光計 ウエハ プラス オゾン発生器 低蒸気圧蒸着 グローブ ボックス インターフェース 自動ロード ロック基材RFバイアス 危険ガスセンサー / 安全PLC ロード ロックの他の真空装置への引き渡し |