基板に到達する前に熱分解を必要とするガスを超高真空（UHV）環境で効率的に供給することが必要な分子線エピタキシー装置（MBE）アプリケーション向けに、Veecoのガス クラッカーはフラックスの均一性を最適化するためにカスタマイズされたエグジット コーンおよびエンドプレートなどの独自機能を備えています。これらのガスクラッカーは、タンタル製またはPBN製のクラッキングチューブを放射加熱するために、従来型のシングルフィラメントヒーターを備えています。プロセス効率を向上させるために、複数のオプションをご用意しています。

• 熱分解を必要とするガスの UHV 供給用
• TaまたはPBN（プラズマ ブリッジ ネトラライザ）気体コンダクタンス チューブ
• カスタマイズされたエグジット コーンおよびエンドプレートを使用した優れた均一性
• 40台以上の出荷実績

ガス クラッカーは、基板に到達する前に熱分解によって活性化する必要のあるソース ガスと共に使用されます。これらのガス クラッカーは、タンタル製またはPBN（プラズマ ブリッジ ネトラライザ）製のクラッキングチューブを放射加熱するために、従来型のシングル フィラメント ソース ヒーターを備えています。クラッキング効率を向上させるために、内部バッフルを使用できます。ソースには、コンダクタンス チューブ 3 本までの、複数のガス取入口が含まれます。