ガス ソース供給システム

Veeco MBEガス ソースの精密制御用


Veeco社のガス供給システム(GDS)は、ガスの精密制御のほか、不活性ガス、有害ガス、可燃性ガスなどの監視とインターロック制御を可能にします。Molly® ECS1成長制御ソフトウェアは、お客様の既存システムへ容易に統合できます。

あらゆるニーズとご予算に応じたさまざまなパッケージ オプションを用意しています。すべてのパッケージは、回路ごとの手動ガス管遮断バルブ、ガス フィルタ清浄器、流量コントローラ、および空気圧制御の流出入/通気バルブを備えています。

  • Veeco MBE ガス ソース用の高効率で安全なガス制御手段
  • プロセスの操作と監視を容易化
  • 特定の用途とご予算に応じた 3 種類のモデル構成をご用意

当社のチームがお手伝いいたします。