GEN10™ MBEシステムは、実績のあるプラットフォームにおける最も経済的で柔軟性のあるクラスタ ツール装置により、最高3つまでの構成可能な、材料に特化した成長モジュールが可能になります。これにより、有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションができるようになります。これをVeecoコンポーネント技術に結び付けることが、MBEコミュニティがアプリケーションの如何にかかわらずGEN10™ MBEシステムを選択する理由の重要な要素となっています。

• 自動ウエハ移送により有効なシステム利用が可能となり、複数の研究者が同時にシステムを使用し、無人で成膜およびキャリブレーションを行うことが可能
• 最大3つの成長モジュール追加への経済的なアップグレートパス
• 材料に特化した複数の成長モジュールで構成可能なクラスタ アーキテクチャを採用しているので、1台の真空システムで異なる材料の成長を同時に行うことが可能
• 大量生産MBE システムへの直接移行が可能