GEN20 MBE システム

III-V族用に構成可能な設計であり、新材料を利用可能な極めて柔軟性に富むツールです。


VeecoのGEN20™ MBEシステムは、III-V族に構成可能な設計であり、電子ビーム技術の統合を必要とするアプリケーションなどの新材料を利用可能な極めて柔軟性に富むツールです。本システムは生産設計技術を取り入れており、理想的なラボ間移動が可能な、オプションのクラスタ ツール ウエハ搬送システムを実現しています。

  • 材料研究および試作環境に最適
  • 12MBEソースポート、および電子ビーム機能を追加するオプションを装備した、基板の方向に対して垂直なソース
  • 手動または自動のウエハ移送オプション
  • 構成可能な極低温パネル、マニピュレーター、シャッタおよびIn-situモニター装置
  • モジュール形式設計で、最大2つの成長モジュールが可能

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