VeecoのGEN200® MBEシステムは、現在の市場で最も費用効果と生産能力の高いマルチ4インチ量産向けMBEシステムです。本装置は、ポンプレーザー、面発光レーザーおよびヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBTs)のようなデバイスのGaAsまたはInPベースのウエハ成膜において、優れたスループット、長い稼働時間、卓越したウエハ品質をお届けします。
- 最低コストで4 x 4インチ エピウエハの成長を実現
- モジュラー アーキテクチャで、類似のMBEシステムより大幅に小さい設置面積を実現
- 最大2つの成長モジュールが可能で、スループットの増加、または異なる材料の処理が実現
- オプションのバルクヘッドを取り付けることにより、無菌室スペースが最適化
- 業界で最も革新的で、信頼できるシステム ハードウェア、ソースおよびコンポーネントを組み込み