LSA 201環境制御レーザースパイクアニールシステム

VeecoのLSA201レーザースパイクアニール（LSA）システムのアーキテクチャはLSA101と同じですが、特許取得済みのマイクロチャンバー設計を採用しています。これにより、走査型レーザーシステムでウエハ全体の環境制御が可能になります。マイクロチャンバーは、真空負荷ロックを使用する必要がないという点で、独自の機能です。システムは、フォーミングガスを含む不活性ガスの混合に対応しています。LSA201は、高誘電率金属のゲート接合の活性化やニッケルシリサイド形成などのアプリケーションに照準を合わせています。LSA201は、インターフェースエンジニアリングや材料修正などの、環境制御が重要な20nm以下のプロセスに最適です。