Veeco抗酸素寿命延長ソースにより、稼働時間の増加と修理コストの削減を実現します。酸素分圧が最大5milliTorrまで、温度が最高1150°Cまで使用可能です。また、基板ヒーターは、最大5mTorrの酸素分圧、最高800°Cの温度で使用可能です。

• SUMOるつぼは、最適な光束分布および減少による影響の最小化に使用可能
• 最大5mTorrの酸素部分圧
• 最大温度1150°C
• 20台以上の出荷実績

酸化物原料研究は、IC業界の重要性と、これらの原料を使って可能になったさまざまな電子的特性と光学的特性によって、長年にわたってかなり増えてきました。

酸素の腐食性により、酸素環境で薄膜研究を行う場合、装置に問題が生じる場合が多くあります。たとえば、基板温度を800°Cに維持しながら、10-5Torr以上の酸素環境で原料を加熱蒸発させるのが通常の方法です。酸素分圧および温度が高いと、ソースおよび基板ヒーターのヒーティング エレメントの寿命が大幅に短くなります。その結果、装置の稼働可能時間が短かくなり、キャンペーン時間の短縮と修復コストの上昇につながります。

モリブデンやタンタルのような従来の原料の代わりに、特別な耐酸素性原料を使用すると、Veecoの革新的かつ実績のあるソースと基板ヒーターを高酸素分圧の環境で稼働させることができます。Veecoの耐酸素性ソースは、最高1150°Cの温度と最大5mTorrの酸素分圧に対応しています。基板ヒーターは、最高800°Cの温度と最大5mTorrの酸素分圧で使用可能です。