白リンは酸素との反応性が非常に高いため、Veecoのリン回収システム(PRS)は、メンテナンスおよびソースの交換のためにMBEシステムを換気する前に、成長モジュールから白リンを捕捉して中和する、安全で効率的な方法を提供します。このプロセスは、Veeco Molly®成長制御ソフトウェアにより、制御され厳重にモニターされます。Veecoのリン回収システム(PRS)には、少量または大量の製造環境に適した2つのモデルがあります。
既存のおよび新しいリン バルブド クラッカーで使用可能な、Veecoのリン バルブド クラッカー温度コントローラを使用すると、気温や冷却水温などの環境条件の変化によって生じる可能性がある、白リン ゾーンの温度不安定性を、正確に安定して制御することが可能になります。
温度コントローラの機能により、白リン ゾーンの温度が±0.05°C以内の一定値に維持され、その結果、リン フラックスの安定性は±1%未満になります。さらに、温度コントローラにより、ユーザーが白リン ゾーンの温度を正確に設定できるようになることで、白リン ゾーン気流の手動設定に比べて、バルブ クラッカーのプロセス設定が大幅に簡素化されます。