既存のおよび新しいリン バルブド クラッカーで使用可能な、Veecoリン用バルブドクラッカー温度コントローラーを使用すると、気温や冷却水温などの環境条件の変化によって生じる可能性がある、白リン ゾーンの温度不安定性を、正確に安定して制御することが可能になります。温度コントローラの機能により、白リン ゾーンの温度が±0.05°C以内の一定値に維持され、その結果、リン フラックスの安定性は±1%未満になります。さらに、温度コントローラにより、ユーザーが白リン ゾーンの温度を正確に設定できるようになることで、白リン ゾーン気流の手動設定に比べて、バルブ クラッカーのプロセス設定が大幅に簡素化されます。

• 白リン ゾーン温度を±0.05°C以内、フラックスの変動を±1%以内に維持
• すべてのVeecoリンバルブ付きクラッカーと適用可能
• 水温、気温および気流による、リンフラックスの不安定化を解消