精密ガス混合システム

ガス混合濃度の改善による高い生産収率の実現

Veeco の精密ガス混合システムは、高度な濃度制御によりガス混合物を生成して、厳密なプロセス制御および高い歩留まりを実現します。また、混合濃度のアクティブ制御により、上流濃度の変化やドリフトを補償します。例 : Piezocon 精密ガス混合システムは、タンクの寿命期間中、±0.5 ppm以上の濃度制御にて、1%のドーパント予混合物から50 ppmのドーパントガス混合物をタンク間で生成可能です。

• コスト削減 : 純粋または高濃度のガス混合物を原料とすることにより、タンクの交換頻度を減らして、ツールの停止時間を最低限に抑える。高ROIを実現します。
• 用途:  最も一般的なプリカーサまたはドーパント ガス混合物を取り扱い可能
• 利便性:  プロセス技術者は、広い濃度範囲にわたって、使用時にプロセスで必要となる濃度にダイヤルで調整可能
• 手配の簡素化 : 設備技術者は、複数濃度のガス混合物の在庫を削減可能
• 使いやすさ : 使いやすいユーザー インターフェースにより、活性ガスや希釈ガスの選択、および使用時に必要な濃度の設定が可能
• 小型化:  小型の通気口付き筐体またはVMBに設置可能

業界の安全プロトコルを遵守するために、標準的なSEM準拠ガス ボックスにGMSを設置してください。