光学コーティング メーカー向けのQuestブロードバンド光学モニター

層のエンドポイントを精密に制御することで、優れた再現性と並外れのプロセス制御が可能

VeecoのQuestブロードバンド光学モニターは、生産基板で直接、非四分の一波長制御を実現します。複数のアルゴリズム選択肢と選択可能な波長範囲により、最先端の光学設計を制御できます。

• 以前の世代と比べて、層厚制御が10倍以上も改善
• キャリブレーションの実行回数を減らすことで生産利用率を向上
• 非連続的に実行する場合でも0.1%未満の再現性
• ユーザーフレンドリーなインターフェースで簡単にセットアップ
• 既存のSPECTORおよびSPECTOR-HT IBDシステムに完全統合