Veecoの格納式ソースは、ソース容量や、メンテナンスおよびシステム アップタイム向上のためのソースの取り外しなど、MBEの基本的な制約に対応しています。格納式ソースを使用すると、個別のソースをソース ゲート バルブのある成長環境から分離でき、チャンバー全体を換気することなく取り外すことができます。ソースを成長モジュールの標準位置に再度取り付ける前に、同じ原料または新しい原料で簡単に補充でき、最低限の中断で成長を継続できます。これにより、ユーザーは、新しいソースから基板までの距離の再確認および数週間のダウンタイムが必要な全システムの換気およびベークの手順から解放されます。さらに、差動排気オプションにより、ソースの周りのベース圧力に著しい改善がみられ、ソース原料の汚染を削減し、腐食および酸化環境でのソースの寿命を延ばします。Veecoの格納式ソースは、原料の柔軟性、システムの生産性に対する先導的なソリューションで、特許取得済みSUMOソース技術で当社の先導力を強化しています。

• ほとんど中断なしのシステム稼働を提供
• 補充およびメンテナンス時間の削減
• 信頼性の向上とべローズなしの設計
• 差動排気によるソース原料の純度の保持
• Veeco MBEシステムのみで使用可能