このソースには、腐食性水蒸気による化学劣化に耐えながら、分解または未分解セレンフラックスを生成する多数の加熱ゾーンがあります。全金属ニードル バルブを経由するソース原料が枯渇することなく、比類のない便宜性とフラックス制御が維持されます。青色/緑色LEDおよびレーザーダイオード装置製造での優れた成果が報告されています。

• 50 台以上の出荷実績のある特許を有する設計
• フラックス変調およびオン/オフ制御を提供
• 大容量のソース
• 優れたフラックス均一性とマテリアルの付着率を上げるノズルを採用
• システムベークアウト中のソース材料の損失を防止
• このフィールドで50以上の、世界各地の業界をリードするII-VI研究グループが利用

セレン用Veecoバルブ付きクラッカーは、世界各地の業界をリードするII-VI研究グループが利用しています。その複数の加熱ゾーンは、分解または非分解セレン フラックスを生成するために操作できます。全金属ニードル バルブは、るつぼからコンダクタンス チューブを通じて成長モジュールまでのガス流量を規制します。コンダクタンス チューブは、セレン蒸気による化学的劣化に耐えるタンタルから構成されています。

セレン用マークVバルブ付きクラッカーは最近改善され、優れたフラックス均一性および原料の浪費削減をもたらすノズルが付けられました。原料の使用方法を改善したことにより、以下のことが実現しました。

• 原料費の節約
• より長いキャンペーン時間
• 危険廃棄物生成の低減
• メモリー効果の低減
• 低粒子レベルと剥離
• システムのウィンドウ コーティングの削減

Veecoセレン用バルブ付きクラッカーは、さまざまなMBEシステムと互換可能な500ccおよび1200ccのサイズで使用可能です。ウエハまたはプラテン全体での優れたフラックス均一性を実現するため、排出ノズルは特定のMBE用にカスタマイズされます。Veeco SMC-II 自動バルブ ポジショナーは、ニードルバルブの信頼性の高い自動制御のために、このソースでの使用が推奨されています。

性能と利点

Veecoセレン用バルブ付きソースは、他の標準ソースとは比べ物にならない利便性とフラックス制御を提供します。準瞬時フラックス変調および完全なフラックス シャットオフのため、成長過程での制御は、ニードル バルブを使用して最適化できます。ソースは、充填材を消耗することなく、動作温度で継続してアイドリングできます。従来のオープン ソースに使用される熱制御ではなく、機械的なフラックス制御を使用すると、ソースの応答性を制限することなく、充填容量を任意に増大させることができます。

利点は以下の通りです。

• より長い成長キャンペーン時間
• ベークアウトおよびアイドリング中の充填材保存
• より徹底した充填材のアウトガス処理
• システムの低不測グループVIバックグラウンド

優れたフラックスの安定性と応答性により、ZnMgSSe/ZnSSe/ZnCdSeに基づいた青色/緑色発光ダイオードとレーザー ダイオードの成長が示されます。