シングルフィラメントソース

信頼性が高く、費用対効果に優れたMBEソースの運用


信頼性の高いVeecoのシングル フィラメント ソースを使用することにより、生産性の高い、高付加価値のMBEプロセスのニーズに最適なコスト効率の高いソリューションを得ることができます。このソースは、信頼性の高いバンド型熱電対、および750~1200°C間で作動するシングルヒーターフィラメントを装備しています。3つのシステム構成と多数のるつぼサイズをご利用いただけます。すべての製品は、高蒸気圧のマテリアルで安定性のある一貫したフラックスを提供します。

  • 1125 台以上の出荷実績のある特許を有する設計
  • シングル フィラメントの「コールドリップ」および「ホットリップ」設計
  • ほとんどすべての電源に適合
  • 幅広いサイズに対応
  • 優れた性能と価値

Veeco MBEシングル フィラメント ソースには、以下の3つの種類があります。

  • 標準フィラメント ソース。標準フィラメント ソースは、汎用ソースで、均一に分布したシングル ヒーター フィラメントが特長です。すべての設計には、るつぼ接触面が広いバンド型熱電対が含まれます。ソースの加熱は均一ですが、特に大容量のソースにおいては、るつぼ開口部における放射熱損失のため、先端の温度がわずかに低くなっています。アルミニウムの蒸着については、下記の説明の通り、この「コールドリップ」効果を強化する必要があります。
  • 改良されたフィラメント ソースこのソースは、特許取得済みの「改良された」シングル フィラメント設計が特長です。「ホットリップ」加熱は、るつぼの下部を均一に加熱する1つのフィラメントで実行されますが、開口部の放射熱損失を補うために、先端部分のフィラメント密度を高めています。この設計は、小容量のるつぼに特に効果的です。
  • アルミニウム用コールドリップ ソース従来のソースでは、溶融アルミニウムによってPBNが湿気を帯びると、充填材の流出および漏れ出しの原因となります。アルミニウム漏れ出しの原因となる要素には、ソースの取り付け角度、アルミニウムの負荷量、ソースのランプ率が含まれます。標準ソースで流出および漏れ出し問題が継続する場合は、「コールドリップ」効果を増大させる短いフィラメントを持つ特別なシングル フィラメント ソースが必要な場合があります。アルミニウム用コールドリップ ソースにより、アルミニウムが流出してソースにダメージを与える前に、るつぼのリップでアルミニウムが凍結します。

要件が厳しい用途や大容量のソースが必要な場合は、デュアル フィラメント ソースまたはSUMOソースをお勧めします。

性能と利点

シングル フィラメント ソースは、汎用アプリケーションで高い性能および価値を発揮します。標準フィラメント ソースは、熱安定性を高めるバンド型熱電対のため、より高度な精度および安定性を提供します。改良されたフィラメント ソースのホットリップ加熱により、ガリウムおよびインジウム関連の楕円欠陥が減ります。また、るつぼでの凝結を防ぐことにより、他の原料の蒸着の安定性および再現性を向上させます。

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