このソースは、腐食性水蒸気による化学劣化に耐えながら、分解または未分解流束のための効率的な原料保存もしくは準瞬時変調を提供します。この便宜性および流束制御は、高融点金属ニードルバルブを経由するソース材料を消耗することなく維持されます。青色/緑色LEDおよびレーザーダイオード装置製造での優れた成果が報告されています。

• 分裂または非分裂S光束のいずれかを生成
• フラックス変調およびオン/オフ制御を提供
• 大容量のソース
• 優れたフラックス均一性とマテリアルの付着率を上げるノズルを採用
• システムベークアウト中のソース材料の損失を防止
• フィールドの30 以上で、業界をリードするII-VI 研究グループが使用

Veccoの硫黄用MBEバルブ付きクラッカーは、標準ソースによる比類のない利便性と制御性を提供します。大容量の耐熱性金属るつぼは加熱され、硫黄ビーム フラックス（Snで構成、nは8、7、6、5、3、2）を生成します。ガス流量は、耐熱性の金属針バルブを通じて、個別に加熱される分解ゾーンで調節されます。分解ゾーンの温度を調節して、非分解硫黄フラックスまたは小型硫黄種のビームを生成します。分解ゾーンは、硫黄の腐食性により、耐熱性金属ではなく石英で構築されます。

硫黄用マークVバルブ付きクラッカーは最近改善され、優れたフラックス均一性を提供し、原料の浪費を防ぐノズルが付けられています。原料の使用方法を改善したことにより、以下のことが実現しました。

• 原料費の節約
• より長いキャンペーン時間
• システムのクリーニング時間の短縮
• 危険廃棄物生成の低減
• メモリー効果の低減
• 粒子レベルおよび剥離の低下
• システムのウィンドウ コーティングの削減

Veeco SMC-II 自動バルブ ポジショナーは、ニードルバルブの信頼性の高い自動制御のために、このソースでの使用が推奨されています。