一体型UNI-Block®インジウム フリー基板ホルダーにより、粒子生成を最小化し、同じホルダー リング内で基板の全体または一部をより素早く取り付けることができます。全体の組み立て工程を30秒未満でできるため、基板の環境への曝露を低減できます。ワイヤやクリップなしで、いつでも基板面を下向きに置けるため、パーティクル汚染が低減されます。さまざまな構成の部分的ウエハ、ディフューザー プレートを取り扱い可能で、ウエハ裏側に光学的にアクセスできます。

• 基板の取り付けが容易
• パーティクル汚染を最小化
• 優れた温度均一性
• In-situモニターで使用可能
• 基板の全体および一部で使用可能
• 元のメーカーの設計を直接置き換え
• インジウム フリー取り付けオプション

UNI-Block基板ホルダーは単一のモリブデンから製造されているため、使いやすさが増し、エッチングが簡単になります。