ALDの材料

ALDの材料

化学者はこれまでに、ALD用の多くの胸躍る新しい材料を合成し、金属、半導体、絶縁体、酸化物、窒化物、誘電体、磁性、屈折コーティング向けの特性を改善したコーティングなど、多数の原子層蒸着(ALD)材料を作り出してきました。

ALDの既存の材料および新しい材料は、当社のパートナーであるStrem ChemicalsおよびSigma-Aldrichを通じて入手できます。リストに載っていない材料については、検索ページを使用するか、もしくは ALDinfo@veeco.com までお問合せください。技術専門家のチームが、貴社のアプリケーションに適した材料選択をする際にお手伝いをいたします。

酸化物 窒化物 硫化物 金属/テルル化物
AI2O3 Fe2O3 Li3PO4 NiFe2O4 V2O5 AlGaN MnN CdS Co
Al:HfO2 Fe3O4 LiPON NiO WO3 AlN NbN CoS Cu
Al:ZnO FePO4 LiFePO4 NiO Y2O3 BxGa1-xN NbTiN Cu2S Fe
AlGaN Ga2O3 Li2MnO4 PO4 YSZ BxIn1-xN SiN Cu2ZnSnS4 Mn
BOx HfO2 Li5TaOz SiO2 ZnAl2O4 CoN TaN In2S3 Ni
BiFeO3 HfSiON MgO SnO2 ZnO Hf3N4 TiN MnS Pd
CeO2 In2O3 MnO2 SrO ZnMgO InAlN WN PbS Pt
Co3O4 ITO MoO3 SrTiO3 ZnOS InGaN ZrN Sb2S3 Ru
CoFe2O4 La2O3 NaTiO Ta2O5 ZrO2 InN SnS Bi2Te3
Er2O3 Li2O Nb2O5 TiO2 ZnS Sb2Te3