化学者はこれまでに、ALD用の多くの胸躍る新しい材料を合成し、金属、半導体、絶縁体、酸化物、窒化物、誘電体、磁性、屈折コーティング向けの特性を改善したコーティングなど、多数の原子層蒸着(ALD)材料を作り出してきました。
酸化物 | 窒化物 | 硫化物 | 金属/テルル化物 | |||||
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AI2O3 | Fe2O3 | Li3PO4 | NiFe2O4 | V2O5 | AlGaN | MnN | CdS | Co |
Al:HfO2 | Fe3O4 | LiPON | NiO | WO3 | AlN | NbN | CoS | Cu |
Al:ZnO | FePO4 | LiFePO4 | NiO | Y2O3 | BxGa1-xN | NbTiN | Cu2S | Fe |
AlGaN | Ga2O3 | Li2MnO4 | PO4 | YSZ | BxIn1-xN | SiN | Cu2ZnSnS4 | Mn |
BOx | HfO2 | Li5TaOz | SiO2 | ZnAl2O4 | CoN | TaN | In2S3 | Ni |
BiFeO3 | HfSiON | MgO | SnO2 | ZnO | Hf3N4 | TiN | MnS | Pd |
CeO2 | In2O3 | MnO2 | SrO | ZnMgO | InAlN | WN | PbS | Pt |
Co3O4 | ITO | MoO3 | SrTiO3 | ZnOS | InGaN | ZrN | Sb2S3 | Ru |
CoFe2O4 | La2O3 | NaTiO | Ta2O5 | ZrO2 | InN | SnS | Bi2Te3 | |
Er2O3 | Li2O | Nb2O5 | TiO2 | ZnS | Sb2Te3 |