原子層蒸着(ALD)

原子層蒸着(ALD)

Veecoの原子層蒸着(ALD)システム(Firebird™、Savannah®、Fiji®、およびPhoenix®)は、孔、トレンチ、キャビティの内部でも深く、完全に均一な膜厚を実現する、ピンホールのないコーティングを蒸着するよう設計されています。

Firebird原子層蒸着(ALD)システムの紹介

Firebirdシステムは、全自動バッチ生産原子層蒸着(ALD)プラットフォームであり、優れた均一性を1ウエハあたり可能な限り最低のコストで、クラス最高のスループットで実現します。実績のあるVeecoのさまざまな自動化ソリューションを統合したこのシステムは、低衝撃のバッチ搬送を行うことで、安全なウエハハンドリングを可能にします。モジュール式の事前加熱&クールダウン設計により、貴社の仕様に合わせた柔軟な熱管理ソリューションを実現します。Firebirdのシステムは、大容量リアクター、低コストの消耗品/メンテナンス、およびコンパクトな設置面積を特長としており、最もコスト効率に優れたソリューションを実現しながら、貴社のスループット要件を余裕で満たします。  詳細についてはこちらをクリックしてください。
 
Firebird原子層蒸着(ALD)システム