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ドーパント
MBEプロセスにおけるドーパント導入のために精密なフラックス制御が必要な場合や、熱分解を必要としないガスが必要な場合は、Veecoドーパント製品が最適です。
ドーパントソース
MBEドーパント成分の安定性能
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5cc デュアル ドーパント ソース
容量が3倍以上に増加し、各るつぼのシャッターを独立に動作させる機能が追加されます…
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低温ガスソース
プレクラッキングを伴わないソース ガスの経済的な導入
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