イオンビームシステム

Veecoの比類のないイオンビームに関するノウハウは、実績のあるエッチングおよび蒸着成果を達成してきており、データ保管とMEMSの市場を数十年にわたり維持しています。

素材が最も重要である場合、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスは、当社のイオンビーム蒸着（IBD）システムを使うことで、最高の均一性と再現性を達成します。

イオンビーム蒸着（IBD）システムによって、均一性と再現性を最大限に高める、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスを生み出します。

NEXUS®イオンビームエッチング（IBE）システムで、不連続マイクロ電子デバイスおよびコンポーネントの高歩留まり生産のために、精密で複雑なパターンをエッチングします。

Veecoは、業界唯一のリニアグリッドソースなど、幅広い用途に対応する最も包括的なイオンビームソースを多数提供しています。

マイクロエレクトロニクス、医療機器、および自動車部品は、熱耐性および熱抵抗性を必要としますが、これらは、当社の蒸着システムで作成されたダイヤモンドライクカーボン膜でしか実現できません。

イオンビーム システム ＆ ソース