イオンソースアーカイブ

イオンソース

Veecoは、業界唯一のリニアグリッドソースなど、幅広い用途に対応する最も包括的なイオンビームソースを多数提供しています。

大型独立基板または大型基板のバッチを使用した、高い均一性と高信頼性を備えたイオンビーム蒸着プロセスプラットフォーム向けとした、実績のあるリニアグリッド DC イオンソースです。

Veecoのグリッドレスエンドホールイオンソースは、真空コーティングプロセス用の高ビーム電流を提供します。

VeecoのグリッドRFイオンソースは、長時間稼働イオンビーム蒸着プロセスの生産性を向上させるように設計されています。

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