イオンソース

大型独立基板または大型基板のバッチを使用した、高い均一性と高信頼性を備えたイオン ビーム蒸着プロセス プラットフォーム向けとした、実績のあるリニア グリッド DC イオン ソースです。

Veecoのグリッドレス エンド ホール イオン ソースは、真空コーティング プロセス用の高ビーム電流を提供します。

VeecoのグリッドRFイオン ソースは、長時間稼働イオン ビーム蒸着プロセスの生産性を向上させるように設計されています。