リソグラフィーシステムアーカイブ

リソグラフィーシステム

Veecoは、ラインとスペースがますます小さくなっていくという増え続ける課題に特に対処できるように設計されたリソグラフィーシステムにおける市場リーダーです。

デバイスアプリケーション：

AP200/300アプリケーションスイート：

Veecoは、APリソグラフィーで重要な違いを生み出しています。

業界をリードするワープウエハ処理

光学フォーカス機能

最先端のL/Sに対応するCD均一性の優れたライン解像度

設置台数ベースおよび実証済みの量産用生産

Veecoのリソグラフィーシステムスイートは、カスタマイズ可能なUnity Platform™をベースにしており、優れた重ね合わせ、解像度、…

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