リソグラフィー システム
Veecoは、ラインとスペースがますます小さくなっていくという増え続ける課題に特に対処できるように設計されたリソグラフィー システムにおける市場リーダーです。
デバイス アプリケーション：
- アドバンスド パッケージング
- LED
- MEMS
- パワー デバイス
AP200/300アプリケーション スイート：
- 再配線層
- マイクロピラー
- TSV（Through-Silicon-Via）
Veecoは、APリソグラフィーで重要な違いを生み出しています。
- 業界をリードするワープ ウエハ処理
- 光学フォーカス機能
- 最先端のL/Sに対応するCD均一性の優れたライン解像度
- 設置台数ベースおよび実証済みの量産用生産
Veecoのリソグラフィー システム スイートは、カスタマイズ可能なUnity Platform™をベースにしており、優れた重ね合わせ、解像度、…
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