低温 - Veeco

Veeco低温エピタキシャルソースにより、幅広いアプリケーションに対応する、正確で安定した低温エピタキシャルソースの性能を実現します。

耐腐食性バルブ付きクラッカーの優れたフラックス制御により、従来の熱制御ソースでは不可能な複雑な構造を実現できます。

最大投資収益率のリンソリューション

多数の加熱ゾーンにより、セレンバルブ付きクラッカーは、分解または未分解セレンフラックスを生成できます…

業界標準の砒素ソース

Veecoのammonia-resisantソース（耐アンモニア腐食）を使用することにより、使用可能時間の増加および修理コストの削減、ソース寿命の延長を実現します。

シングルフィラメントソースは、高蒸気圧原料に最適なコスト削減ソリューションです。

デュアルフィラメントソースは、るつぼの本体部分と先端部分を別々に加熱するための2つの独立したフィラメントを有しており、これによって高い温度制御性を実現しています。

流束のための効率的な原料保存もしくは準瞬時変調を提供することにより、硫黄バルブ付きクラッカーは、化学的劣化に耐えることができます…

良好な温度安定性を提供するSUMOソースは、高蒸気圧原料のバルブなし蒸発に最適なソースです…

Veeco抗酸素寿命延長ソースにより、稼働時間の増加と修理コストの削減を実現します。

Veeco格納式ソースは、メンテナンスやシステムアップタイムのためのソースの取り外しなど、MBEの基本的な制約に対応しています。