分子ビームエピタキシー (MBE) ソース

MBE ソース

Veecoは、低、中、高温を必要とする様々な要素に合わせて調整されたシングルフィラメントやデュアルフィラメントを含むMBEソースを提供しています。

MBEプロセスにおけるドーパント導入のために精密なフラックス制御が必要な場合や、熱分解を必要としないガスが必要な場合は、Veecoドーパント製品が最適です。

Veeco高温ソースは、最高2000℃の低蒸気圧原料に利用できます。

Veeco低温エピタキシャルソースにより、幅広いアプリケーションに対応する、正確で安定した低温エピタキシャルソースの性能を実現します。

中温MBEソースは、ホットリップSUMOソースから熱蒸着用の標準フィラメントまで、ほとんどあらゆるアプリケーションに使用できます。

Veecoは、シングルおよびデュアルフィラメントを含む多様な仕様を取り揃え、お客様にとって最適なMBEソースが選択できる機会を提供しております。