様々なアプリケーションに対応可能な高いスループットと優れた再現性
VeecoのSPECTOR®ロードロック イオンビーム スパッタリング システムは、多岐にわたる用途でスループットを大幅に引き上げることができます。基板のロードから5分以内に蒸着を開始できる SPECTORロードロック システムでは、バッチ ツールに必要な通常のプリプロセス手順より蒸着時間が短くなった設計で、スループットを容易に2倍まで高めることができます。
圧力、温度、目標表面の組成、イオン ソース出力などのプロセス パラメータを安定した状態に維持する能力も、システムの再現性を後押ししています。SPECTORロードロックは、RFニュートラライザ、チャンバー ライナー、シールドなどの部品を外気や湿度にさらす頻度が低いので、これらの部品には長い平均メンテナンス間隔（MTBM）が望めます。これらの特徴と利点の組み合わせから、市場で入手可能な最高の精度と品質を備えた薄膜の製造をわずかなコストで実現できます。