大きな基板での均一性、再現性、および低温蒸着により、ALDは次世代の大規模製造薄膜技術の理想的な候補となっています。
生産向けALDのニーズがある場合、Phoenix®生産向けALDシステムが適切な選択肢です。Phoenix®は、一度に多数の基板を保持できるバッチALDツールです。独自のチャンバー設計により、バッチ間で正確な膜が保証されます
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Firebird™ 量産向けALDシステムは、その長期にわたるキャンペーンと保守性の向上により、少量の量産前評価から量産に至るまで、所有コストの要件以上を実現しています。毎月最大40,000ウエハのスループットを提供するFirebird™は、クラス最高の生産性、優れた膜性能、低運用コストを兼ね備えており、特殊なウエハ製造に関する最も厳しい大量生産のニーズに対応します。
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