ガス&蒸気供給システム
AIやエッジコンピューティングなどの最先端のコンピューティング プロセス用に開発する高度な半導体デバイスには、当社の提供するガス・蒸着供給システムの超高純度環境が必要です。
Apexガス混合システムによって、低コストの高濃度ガスを購入して生産コストを削減します。
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精密ガス混合システムによって、高度な濃度制御を実現します。より厳密なプロセス用にガス混合物を生成します…
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CVDにおける化学前駆体蒸気とドーパント ガスの再現可能な蒸気供給制御の業界標準として…
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