グリッド付き RF イオンソース

VeecoのグリッドRFイオン ソースは、長時間稼働イオン ビーム蒸着プロセスの生産性を向上させるように設計されています。

グリッド付き RF イオンソース

VeecoのグリッドRFイオン ソースは、長時間稼働イオン ビーム蒸着プロセスの生産性を向上させるように設計されています。

NOVUS RFイオン ソース コントローラ

VeecoのNOVUS RFイオン ソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、安定した電力をイオン ソース動作用に…
続きを読む

6 cm x 22 cm RF イオン ソース

基板の付いた生産性の高いインライン システム向けに設計されたVeecoの6 x 22cmグリッド入りリニアRFイオン ソースは、…
続きを読む

6 cm x 66 cm RF イオン ソース

大型基板の均一な処理に最適なVeecoの6 x 66cm RFリニア イオン ソースは、省メンテナンス性でフィラメントなしの動作を提供します…
続きを読む

16cm高出力RFイオン ソース

反応性プロセスでの利用に最適なVeecoの16cm RF 高出力（HP）イオン ソースは、ビーム均一性を実現します
続きを読む

16cm RFイオンソース

イオンビーム アシストやイオンビーム蒸着などの反応性プロセス用の広範で均一なイオンビーム ソースを実現できます…
続きを読む

12cm RF イオンソース

イオンビーム アシストやイオンビーム蒸着などの長時間の連続反応性プロセスの性能および品質を向上します…
続きを読む