12cm RF イオンソース

長時間稼働イオン ビーム蒸着プロセスの生産性を向上させるように設計

高度に制御された光学コーティングのイオン ビーム アシスト蒸着やイオン ビーム蒸着のような長時間の連続反応性プロセスの性能および品質の向上を目指し、Veecoの12cm RFイオン ソースをご利用ください。低メンテナンスで、長期量産が可能な業界唯一のフィラメントのないRFニュートラライザが特徴です。この12cm RFイオン ソースは、100%のアルゴン、酸素、またはその他の反応性ガスを使用するプロセスに最適です。

• 幅広い動作範囲50 ～ 1500 eV および 50 ～ 500 mA
• 不活性、酸化環境の両方で信頼できる、統一動作
• 水冷式で、低から中出力動作用
• 安定した効率の良いプラズマ動作によって、正確な制御と高再現性が可能
• バッチおよびロードロック生産プロセスに最適