イオン ビーム スパッタリング

素材が最も重要である場合、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスは、当社のイオンビーム蒸着(IBD)システムを使うことで、最高の均一性と再現性を達成します。

スパッタリング システム

素材が最も重要である場合、極めて精密で高純度の薄膜層デバイスは、当社のイオンビーム蒸着(IBD)システムを使うことで、最高の均一性と再現性を達成します。

蒸着時間が通常の前処理段階より短い設計で、容易にスループットを倍増します。
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VeecoのSPECTOR®イオンビーム スパッタリング(IBD)光学コーティング システムにより、高い精度と柔軟な薄膜プロセスを実現できます。
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Veeco 社の SPECTOR® 大面積...で、e-ビームシステムの薄膜質に近いバッチ サイズで、高品質のイオン ビーム薄膜が得られます。
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Veeco 社の Quest ブロードバンド光学モニターにより、再現性の向上と優れたプロセス制御が実現できます。その機能は...
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