湿式処理システム
持続可能な慣行による表面処理は、自動車分野への応用、医療機器、5G、およびクラウド ストレージ向けの最先端のマイクロエレクトロニクスの信頼性を確保するためには、決定的に重要です。
湿式処理アプリケーション スイート： WaferStorm プラットフォーム
- 金属リフト オフ
- フォトレジスト / ドライフィルム ストリップ
- フラックス クリーン
- スクラバー
- TSV クリーン
WaferEtch プラットフォーム
- UBM / RDL エッチング
- 化合物半導体エッチングおよびシリコン シンニング
弊社の重要な貢献を湿式処理技術で示す：
- 高い均一性と低い欠陥率
- 幅広いプロセス要件を満たす柔軟な設計
- 独自の immJET 技術による、バッチ浸漬と単一ウェーハスプレー処理の組み合わせ
WaferStorm プラットフォームは、高度パッケージング、MEM、RF、データ ストレージ、フォトニックなどの市場で、重要な溶剤ベース...
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WaferEtch プラットフォームは、高度パッケージング、MEM、RF、データ ストレージ、フォトニックなどの市場で、重要な水性の...
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