原子層蒸着(ALD)

原子層蒸着(ALD)

Veecoの原子層蒸着システム(Savannah、Fiji、およびPhoenix)は、孔、トレンチ、キャビティの内部でも深く、完全に均一な膜厚を実現する、ピンホールのないコーティングを蒸着させるよう設計されています。

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