Molly®成長制御ソフトウェアとLot Managerスケジュール管理ソフトウェアを通じ、研究および生産用の分子線エピタキシー装置（MBE）システム向けにVeecoの包括的な統合ソフトウェア制御ソリューションを提供しています。Mollyでは、成長プロセスを実行できるレシピの作成と実行が簡単になり、Lot Managerでは、Veecoの自動生産MBEシステムの自動運転を管理します。

Molly成長制御ソフトウェア

• 監視と制御
  Mollyは、電源、RHEED、高温計、その他のIn-situモニター ツールなどのシステム コンポーネントに対するインターフェースを提供します。温度、圧力、位置などのシステム ステータスが明確に表示され、制御セットポイントを直接設定できます。
  アラームで異常な状態をユーザーに警告し、レシピの防止に使用できます
• 成長レシピ エディター
  使いやすいレシピ構築ブロックを備えたエピタキシー固有のレシピ エディターを使用して、成長レシピを簡単に作成します。Mollyに組み込まれたスクリプト言語であるMollyScript™の機能を使用すれば、より複雑なルーチンを作成できます。
• EpiTrend™データレコーダーおよびビューア
  EpiTrendは、常時稼動するデータレコーダーおよびビューアです。システム内のすべてのステータスおよび制御信号を継続的に記録します。内蔵されたビューアを使用して、データを表示および比較できます。
  外部での分析にも使用するため、データをエクスポートすることができます。

Lot Managerスケジュール管理ソフトウェア

• 自動プラテン移送
  ロットシートは、プラテン移送とレシピの実行をスケジュールします。柔軟性の高いロットシートにより、カスタマイズされたモジュール シーケンスが可能になります。オプションの依存関係により、重要なプロセスを同期できます。
  移送の最適化により、複数のモジュールで同時にレシピを並列で実行できるので、スループットが向上します。
• 手動操作
  すばやく簡単なドラッグ アンド ドロップ操作で、手動のプラテン移送を行えます。手動のモジュール操作には、モジュール操作コントロールから直接アクセスします。
• システム ステータス
  カスタマイズ可能な概要画面には、プラテンの位置、スリット バルブのステータス、モジュールのステータス、およびその他の制御信号情報が表示されます。
• EpiMove™手動システム制御
  必要に応じた手動およびメンテナンスの制御。EpiMoveは、ポータブルで頑丈なハンドヘルドコンピューターで動作します。