MOCVD システム

MOCVD システム

Veecoは、低所有コストで高いスループットを目的とした業界最先端の様々なMOCVD装置をお届けします。 

LED製造用ターボディスクEPIK 868 MOCVDシステム

EPIK 868 MOCVDシステムにより、ウエハ当たりのコストを20%以上節約できるだけでなく、最長の稼働時間、低いメンテナンス コスト、クラス最高水準のウエハ均一性、競合するシステムの1.6倍の設置効率といったメリットの組み合わせを実現できます。 

LED生産用ターボディスクEPIK 700 GaN MOCVDシステム

LED業界の最高の生産性を誇るMOCVDシステムである、Veecoの受賞歴のあるEPIK® 700 MOCVDシステムにより、ウエハ当たりのコストを最大20パーセントも削減します。

TurboDisc K475i As/P MOCVDシステム

TurboDisc K475i As/P MOCVDシステムは、業界で最高の生産性を誇り、所有コストを最低限に抑えたLED大量生産用MOCVDシステムです

パワーエレクトロニクス用Propel Power GaN MOCVDシステム

Veecoの単一ウエハ リアクタ技術を特長とする新しいPropel™ Power GaN MOCVDシステムによって、高効率のGaN ベースのパワー デバイスを製造します。